03-07
2024晶圓測(cè)量新利器：光譜共焦傳感器優(yōu)勢(shì)解析
光譜共焦位移傳感器和激光三角位移傳感器在表面測(cè)量領(lǐng)域均占據(jù)重要位置，它們各自在測(cè)量物體厚度方面表現(xiàn)出獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)。盡管兩者具備測(cè)量功能，但根據(jù)應(yīng)用環(huán)境和所需精度，它們的適應(yīng)性呈現(xiàn)出顯著差異。 具體而言，光譜共焦位移傳感器利用共焦光學(xué)系統(tǒng)與光譜分析技術(shù)的結(jié)合進(jìn)行測(cè)量，這種配置賦予了它極高的測(cè)量精確度。此外，其非接觸式的測(cè)量方式意味著不會(huì)對(duì)被測(cè)物體造成物理性損害，這一特性使其尤為適宜于透明或鏡面反射類(lèi)材料...
