行業應用|光譜共焦位移傳感器對石墨厚度的測量
項目測量薄膜下石墨的厚度檢測方案將產品平置，上下各一個探頭，進行對射測厚，通過傳感器軟件獲取產品的厚度值。1、采用D15A32R02S3的傳感器。2、總厚度依次選取圈內位置測量，薄膜測量則選取石墨附近位置的薄膜厚度。測試結果1、位置1重復13次的動態重復精度為0.135微米，位置2重復13次的動態重復精度為0.053微米，位置3重復13次的動態重復精度為0.073微米，位置4重復13次的動態重復精度為0.175微米。2、產品4個位置總厚度的...
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