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2023光譜共焦位移傳感器的測量原理是什么？又有哪些測量步驟呢？
光譜共焦位移傳感器是一種測量位移變化的高精度測量設備，其工作原理基于共焦光學技術和光譜分析技術的結合。在傳統(tǒng)的共焦系統(tǒng)中，一個點光源（通常為激光）通過一個聚焦透鏡照射到樣品上，同一個透鏡也用來收集反射或透射光。由于共焦孔徑的存在，只有來自聚焦平面的光可以通過孔徑被檢測器接收。隨著樣品的位移，聚焦平面也隨著移動，導致聚焦平面之外的光線強度急劇下降。這樣，光強和樣品表面的距離之間建立了一個非常敏感的依...
