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2021-07-16

光譜共焦位移傳感器原理和特性

  近年來,隨著3C產(chǎn)品外觀設(shè)計(jì)和材料工藝的不斷升級,3C產(chǎn)品加工和制造過程的自動(dòng)化測量越來越多地采用光譜共焦位移傳感器。該光譜共焦位移傳感器在手機(jī)后殼、中框段差、攝像機(jī)段差、2D/3D屏面型等諸多測量應(yīng)用中發(fā)揮了獨(dú)特的優(yōu)勢。光譜共焦位移傳感器是中國自動(dòng)化測量市場中定義的一種新型傳感器,它能解決許多高精度測量應(yīng)用。由LED光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散,量程范圍內(nèi)形成不同波長的單色光。每一個(gè)波長的焦點(diǎn)都對應(yīng)一個(gè)距離值。測量光射到物體表面被反射回來,只有滿足共聚焦條件的單色光,可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計(jì)算被感測到的焦點(diǎn)的波長,換算獲得距離值。

  


  角度特性大

  角度特性是指可測量樣品的最大傾角。激光位移傳感器測量非平面時(shí),因回光產(chǎn)生相差無法準(zhǔn)確測量傾斜或曲面,THINKFOCUS傳感器采用光譜共焦測量技術(shù)可以保證即使被測物存在過大傾角或曲面,也可以進(jìn)行高精度的形狀測量。針對漫反射表面THINKFOCUS共焦位移傳感器測頭可以達(dá)到±87°,針對鏡面反射THINKFOCUS共焦位移傳感器各種測頭基本都可以達(dá)到±20°以上。日系及國產(chǎn)光譜共焦位移傳感器因?yàn)榇藚?shù)非常低,多數(shù)未明確標(biāo)出。角度特性差會導(dǎo)致眾多異形位置無法正常測量。測量非平面表面,尤其針對3D玻璃輪廓、點(diǎn)膠膠水高度及高光金屬表面段差時(shí),必須使用高端光譜共焦傳感器。3D玻璃輪廓測量傳感器及分析軟件THINKFOCUSS3D-1100

  測量光斑更小

  激光位移傳感器由于其采用三角測距原理且光斑大,測量段差及間隙時(shí),存在多面反射導(dǎo)致形狀輪廓失真、邊緣位置異常波動(dòng)、檢測精度下降等問題。THINKFOCUS采用光譜共焦測量技術(shù)且測量光斑最小可至10μm,可以測量出清晰的外形輪廓,且可以保證非常高的測量精度。

  


  共焦效應(yīng)最關(guān)鍵的是把反射光聚焦到針孔上,然后光感應(yīng)裝置接收透過針孔的光信號解析位移測量值,整個(gè)光學(xué)原理決定測量光斑越小,系統(tǒng)分辨率和精度越高。由于日本和國產(chǎn)光譜共焦傳感器收光能力弱,系統(tǒng)穩(wěn)定性差,只能故意放大測量光點(diǎn)的尺寸,以至于傳感器的精度大大降低,但分辨率不會明顯顯示。實(shí)際上,傳感器所測得的光點(diǎn)就像一個(gè)智能障礙。THINKFOCUS光譜共焦位移傳感器測量光斑基本在10-20um。傳感器的橫向分辨率是測量光斑的一半,測量光斑大小決定了傳感器的橫向分辨率,比如測量一個(gè)0.1mm寬的邊沿臺階,必須使用高端光譜共焦傳感器。

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